在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展的背景下，集成電路制造過(guò)程中產(chǎn)生的含氟廢水已成為制約行業(yè)可持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵環(huán)境問(wèn)題。這類(lèi)廢水不僅氟濃度高（5-20mg/L）、成分復(fù)雜，還面臨著排放標(biāo)準(zhǔn)日益嚴(yán)格（長(zhǎng)三角地區(qū)特別排放限值低至1-8mg/L）的挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)處理工藝已難以滿足需求，深度處理技術(shù)的創(chuàng)新突破成為行業(yè)焦點(diǎn)。

技術(shù)演進(jìn)：從單一處理到協(xié)同治理

當(dāng)前主流的深度處理技術(shù)呈現(xiàn)多元化發(fā)展態(tài)勢(shì)?；瘜W(xué)沉淀法雖仍是基礎(chǔ)工藝，但已從簡(jiǎn)單的鈣鹽沉淀升級(jí)為納米材料復(fù)合體系。南京大學(xué)開(kāi)發(fā)的HZO@HCA納米復(fù)合吸附材料，通過(guò)微孔結(jié)構(gòu)和叔胺基團(tuán)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了氟離子的高效選擇性吸附，再生性能優(yōu)異。吸附法憑借其操作簡(jiǎn)便、除氟效果穩(wěn)定的特點(diǎn)，在低濃度段處理中展現(xiàn)出獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，特別是稀土基吸附劑對(duì)競(jìng)爭(zhēng)離子表現(xiàn)出優(yōu)異的選擇性。

膜分離技術(shù)則朝著抗污染方向突破。針對(duì)集成電路廢水中硅、鈣雜質(zhì)易導(dǎo)致膜堵塞的問(wèn)題，研究者開(kāi)發(fā)出納米涂層改性超濾膜，配合錯(cuò)流過(guò)濾技術(shù)，使膜通量衰減率降低至3%/年。電化學(xué)氧化法則通過(guò)電極材料創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)了氟離子的高效去除與能源回收的協(xié)同。

工藝創(chuàng)新：多級(jí)聯(lián)用與資源回收

工程實(shí)踐表明，單一技術(shù)難以實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)高效的深度處理。南京某工業(yè)園區(qū)示范工程采用"混凝沉淀+納米吸附"組合工藝，通過(guò)分級(jí)預(yù)處理優(yōu)化進(jìn)水條件，使納米材料吸附效率提升40%。該系統(tǒng)運(yùn)行成本約1.97元/噸水，其中吸附單元占比達(dá)49%，凸顯了材料成本控制的重要性。

更具前瞻性的是資源回收技術(shù)的突破。中南大學(xué)提出的"沉淀-超濾-結(jié)晶"集成工藝，可從高濃度含氟廢水中回收高品質(zhì)螢石（CaF?），回收率超過(guò)85%。這種將污染治理與資源循環(huán)相結(jié)合的模式，正在重塑行業(yè)環(huán)保理念。

挑戰(zhàn)與展望

技術(shù)應(yīng)用仍面臨多重挑戰(zhàn)：納米材料的大規(guī)模制備與再生、膜系統(tǒng)的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行、電化學(xué)過(guò)程的能耗優(yōu)化等。未來(lái)發(fā)展方向?qū)⒕劢褂冢?/span>

開(kāi)發(fā)低成本、高選擇性的復(fù)合吸附材料；

構(gòu)建智能化控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)加藥與能源管理；

探索氟資源的高值化利用途徑。

隨著《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB 39731-2020）的深入實(shí)施，含氟廢水處理已從單純的環(huán)保達(dá)標(biāo)轉(zhuǎn)向資源可持續(xù)利用的新階段。技術(shù)創(chuàng)新與工藝優(yōu)化正推動(dòng)行業(yè)向綠色智能制造邁進(jìn)，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)保障。